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Physics of radiofrequency capacitive discharge
Autor principal: | |
---|---|
Lenguaje: | eng |
Publicado: |
Chapman and Hall/CRC
2018
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Materias: | |
Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/2631159 |
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Lenguaje: | eng |
Publicado: |
Chapman and Hall/CRC
2018
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Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/2631159 |