Cargando…
Development of a 2.45-GHz ECR ion source for ion-implanter application
Autores principales: | Sekiguchi, M, Matsushita, H, Jonoshita, I, Kabasawa, Mitsuaki |
---|---|
Lenguaje: | eng |
Publicado: |
1997
|
Materias: | |
Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/347707 |
Ejemplares similares
-
Two approaches for $H^{-}$ ion production with 245 GHz ion sources
por: Gobin, R, et al.
Publicado: (2006) -
The 18 GHz upgrade of the CERN ECR4 ion source
por: Küchler, D, et al.
Publicado: (2003) -
Operations of the SERSE Superconducting ECR Ion Source at 28 GHz
por: Gammino, S, et al.
Publicado: (2001) -
Output maximization of a 7.25 GHz ECR ion source
por: Henke, D, et al.
Publicado: (1996) -
Time Resolved Experiments at the Frankfurt 14 GHz ECR Ion Source
por: Runkel, S, et al.
Publicado: (1999)