Ion Sources for Nanofabrication and High Resolution Lithography

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Melngailis, J
Lenguaje:eng
Publicado: 2001
Materias:
Accelerators and Storage Rings
Acceso en línea:http://cds.cern.ch/record/554652

Internet

http://cds.cern.ch/record/554652

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