Enabling technology for MEMS and nanodevices

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Baltes, Henry, Brand, Oliver, Fedder, G K
Lenguaje:eng
Publicado: Wiley 2004
Materias:
Engineering
Acceso en línea:http://cds.cern.ch/record/791764

Internet

http://cds.cern.ch/record/791764

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