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Erratum to: Optical properties and bandgap evolution of ALD HfSiO(x)films
Autores principales: | , , , , , , , , |
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Formato: | Online Artículo Texto |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
Springer US
2015
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Materias: | |
Acceso en línea: | https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4724996/ https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26428013 http://dx.doi.org/10.1186/s11671-015-1079-9 |