VLSI planarization: methods, models, implementation

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Feinberg, V, Levin, A, Rabinovich, E
Lenguaje:eng
Publicado: Springer 1997
Materias:
Acceso en línea:https://dx.doi.org/10.1007/978-94-011-5740-7
http://cds.cern.ch/record/1620508

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